上海荧沃PEI备进口全套超精密加工检测设备，包括白光干涉仪，ZYGO干涉仪，蔡司显微镜，台阶仪，X光机等。

白光干涉仪——粗糙度测量

ZYGO干涉仪——表面面型测量

台阶仪——台阶测量